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XY扫描器
闭环控制式单模块柔性XY扫描器。
扫描范围: 50 μm × 50 μm (可选 100 μm × 100 μm)
分辨率: 0.05 nm
定位检测噪音: < 0.3 nm (带宽: 1 kHz)
水平线性: < ２nm (over 40 μm scan)
Z扫描器
柔性引导高力度扫描器
扫描范围: 15 μm (可选 30 μm)
分辨率: 0.015 nm
定位检测噪音: 0.03 nm (带宽: 1 kHz)
共振频率: > 9 kHz (typically 10.5 kHz)
表面成像噪音: < 0.03 nm (0.02 nm typical)
光学系统
可观察样品和探针的直视同轴光学系统
视场: 480 × 360 μm (10× objective lens)
CCD: 1M像素（像素分辨率: 0.4 μm）
物镜
10x (0.21 NA) 超长工作范围的镜头(1 μm分辨率)
20x (0.42 NA) 高分辨率长工作范围的镜头(0.6 μm 分辨率)
信号处理
ADC: 18个通道
4 个高速 ADC 通道 (50 MSPS)
X,Y和Z扫描器定位传感器的24-bit ADCs
DAC: 12 信道
2 个高速 DAC 通道 (50 MSPS)
X,Y和Z扫描器定位的20-bit DACs
大数据大小: 4096 x 4096 像素
集成功能
3个通道数字锁相放大器
热噪声法标定弹性系数
数码Q控制
外部信号介入
20个嵌入式信号输入/输出端口
5个TTL输出: EOF, EOL, EOP, Modulation和AC bias
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