产品优势:
1、生长速度快,周期短(2-3天/炉),成本低,易于稳定量产。
2、成熟的设备制造技术和长晶工艺,且长晶工艺灵活,可根据客户需要调整。
3、可多片同步生长,同质同量,产能大幅提高,晶体坯料易加工,加工成本低,且长晶能耗低,成本可大大降低。
4、设备及热场稳定性好,重复性高,主要热场部件可使用2年以上。
5、采用触摸屏,PAC全自动操作系统,人性化的人机对话系统,操作简便。
6、拥有研发基地,可验证长晶,为客户提供专业的技术培训、设备操作和工艺指导。
7、规模化的研发基地,可同时进行技术验证与创新,确保产品与技术的成熟性和前沿性,持续将公司最新研发成果快速与客户共享。
8、配置真空安全保护装置,安全性能更高。
9、精密稳定的提拉系统,专利设计,控制精度高,传动平稳,抗干扰能力强,更利于晶体生长。
性能参数:
类型 | 导模法 | |
炉体 | 800×1300mm | |
冷态空炉极限真空度 | ≤6.6×10-4Pa | |
籽晶杆 | 炉内行程 | 1000mm |
提拉速度连续可调范围/精度 | 0.1-50mm/h±1% | |
快提拉速度连续升降可调 | 100-150mm/min | |
真空配置 | 分子泵、机械泵、插板阀 | |
真空测量系统 | 测量范围:大气压到1×10-5Pa | |
自动控制系统 | PAC全自动运行程序 | |
循环水用量 | ≥8 m3/h | |
额定总功率/频率 | 80kw/2500Hz | |
设备占地面积(长×宽×高) | 2200×1200×4000mm3 |
技术指标:
项目 | 指标 |
最大使用功率 | 30kw |
长晶周期 | 70H |
单炉能耗 | 1200kw.H |
晶片规格 | 双片,多片(16-24片),异形件(管、棒、拱形件等);也可根据客户要求定制规格。 |
投料量 | 5-6kg或可连续加料 |
取材率 | ≥80% |
成本 | ¥600元/kg |
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