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轮廓形状测定机
EF651D
· X、Z轴采用数字式检出器、执行高精度的轮廓形状评价
· 方位向量解析
· 滚珠螺杆解析
· 非球面解析
· 测定资料图表可自由编组表格
产品特点
| 测定范围 | Z:60mm X:100mm |
|---|---|
| 测定精度 | 士(1.0+10.04HI)μm |
| 触针/测定力 | R25μm 30mN以下 |
| 测定角度 | 上坡77° 下坡87° |
| 解析 | 要素解析/方位向量/MASTER比较/ 滚珠螺杆/非球面解析 |
| 分解能 | Z:0.25μm |
| 直线度精度 | 1.0μm/100mm |
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