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台阶仪微细形状测定机
ET200
· 对于二次元表面粗度解析和段差、测定、实现高精度 ．高分解能．优越安定性、微小的测定力可对应软质样品表面
· 采用直动式检出器，可达到最佳重现性测量
产品特点
| 最大试片尺寸 | ?200mm×高度50mm |
|---|---|
| 重现性 | 1σ ≤ 1nm |
| 测定范围 | Z:600μm X:100mm |
| 分解能 | Z:0.1nm X:0.1μm |
| 测定力 | 10μN~500μN (1mg-50mg) |
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