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主要技术参数
电子负载
放电模式： 恒压、恒流、恒功率、恒阻、编程
功率量程： 1000W
电流量程： 120A
电压量程： 100V
流量控制
阴极气体： AIR 流量1.2-60SLPM
CH4 流量0.3-15 SLPM
CO2 流量 0.3-15 SLPM
N2 流量 0.6-30 SLPM
CO 流量 0.3-15 SLPM
精度： ± 1.5% of FUII Scale
入口压力检测及控制
范围: 0.3-0.5MPa
精度： ± 1.5% of FUII Scale
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