GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪

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品牌

沈阳科晶

型号

GSL-1700X-SPC- 2

产地

中国大陆辽宁

应用领域

暂无

产品简介:GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪可设定程序,精确控制温度200oC-1500oC(或者1200oC-1700oC),最大可蒸镀直径2"薄膜样品,样品台可旋转以获得更均匀的薄膜可制备各种金属薄膜和有机物薄膜,广泛用于电极的制备和有机物发光LED

GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪?操作视频

 

产品型号

GSL-1700X-SPC-2小型程序控温蒸发镀膜仪

主要特点

1、已通过CE认证。

2采用石英腔体,易于清洁和样品的放入

3样品台可旋转,能够使所制薄膜达到更好的均匀性

4钨丝作为发热源,最高温度可达到1700℃,并配有专用的氧化铝舟装载样品(仅1600oC以下使用,若蒸发温度大于1600oC,样品应直接放在钨丝篮中)

5热电偶安装在坩埚底部,以便于温度测量和控制

6、可将设备转换到手动调节状态,内部不安装热电偶,直接采用手动调节输出电流大小,发热源温度可达2000oC,可达到对样品镀碳等实验要求。

7可向真空腔体中通入惰性气体,对腔体进行清洗,也可通入反应气体,进行反应蒸发镀膜。

8进气口配有针阀,用于调节进气流量。

技术参数

1电压:AC 208V-220V 50Hz/60Hz 单相

2最大功率:500W,最大电流为30A

3真空腔体:石英腔体,直径?6"

4样品台:直径?50mm;可旋转,转速5rpm;与蒸发源间距可调,调节范围60mm-100mm

5、最高温度:1700oC

6、热电偶:S型热偶,工作温度200oC-1500oC(可选用B型热偶,工作温度1200oC-1700oC

7、控温精度:±1oC,数显温度控制器,可设置30段升降温程序

8、钨丝篮:2

9、真空接口:KF40

10、真空计:数显防腐真空计PCG554,测量范围3.8×10-5-1125torr

11、进气接口:1/4NPS

产品规格

尺寸:440mm×330mm×630mm

可选配件

1机械泵(带油污过滤器)(真空度<10-2torr,可以蒸发贵金属,如AuAg

2分子泵(可获得高真空,真空度<10-5torr,蒸发易氧化材料,如AlMgLi等)

3低真空系统

4、高真空系统

5、等离子清洗机(镀膜前对基片进行清洗,可获得更好的薄膜强度)


售后服务

1年

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