产品简介:2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2可安装直径为2"的靶材,适用靶材种类较广,如金属/绝缘靶或磁性/非磁性靶材。配装有环形NdFeB永磁体在溅射头上,以保证溅射镀膜的效率和均匀性。可与DC或RF电源配合使用。
产品型号 | 2英寸高真空磁控溅射头HVMSS-SPC-2 |
主要特点 | 1、采用高质量的不锈钢和陶瓷材料制作。 2、采用电磁场的有元计算法来设计永磁体,以得到较高的磁场强度和均匀分布。 3、磁体表面涂有保护层,以防止冷却水的腐蚀,延长其使用寿命。 4、标准的HN型接头,可与DC和RF电源相匹配。 5、安装采用标准真空接头,便于操作。 6、靶材更换较为简单,无需调整溅射头的高度。 |
技术参数 | 1、阳极护罩直径:?3.5" 2、所用靶材:直径2"(50.8mm),非磁性靶最大厚度1/4",磁性靶最大厚度1/16" 3、磁铁:NdFeB稀土永磁体 4、靶材利用率:30% 5、所需功率:DC最大1000W,RF最大500W 6、溅射电流:最大3A 7、溅射电压:100V-1000V 8、溅射时腔体真空度:5mtorr-100mtorr 9、溅射均匀性曲线: 10、水冷却:水管外径0.25",流速0.8GPM,进水温度<20℃ |
产品规格 | |
可选配件 | 1、循环水冷机,流量为16L/min,水箱容积为6L。 2、同时购买300W射频发射器和2"磁控溅射头时,本司赠送1个高真空快速接头。接头内径为0.75",可将溅射 头安装在真空腔体上,真空腔体上的安装孔直径为1",真空腔体的壁厚不得大于1"。 |
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