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亚微米精度超紧凑电控平移台
所属类别：光机产品/精密定位控制系统 ? 电动平移台
技术服务人员：李工(William)
高精度电动平移台
电控位移台也称为电控平移台是一种依靠步进电机驱动的执行装置，通过丝杠将步进电机的角位移转换为平台位移。通常情况下该系统由三部分组成：位移台、电机和控制器。驱动电机及控制器主要决定驱动扭矩、分辨率、加减速度、信号处理等性能参数。位移台则是系统的心脏，主要指标参数有位移精度、行程、负载、稳定性、适用环境等。
昊量光电推出的超紧凑电动平移台装配交叉滚子导轨，使其在紧凑的体积下拥有较高的刚度和精度。该系列电动位移台可提供6-32mm不同的行程范围。传动装置采用拥有间隙补偿不可逆的滚珠丝杠装置。驱动采用步进电机可以提供大的扭矩和速度。采用光栅尺闭环控制，在提供大行程的同时拥有较高的精度。
压电平移台" width="400" height="233" border="0" vspace="0" style="width: 400px; height: 233px;"/>
该系类平移台提供6mm、16mm和32mm三种不同行程的位移平台，并可根据不同的要求提供真空下工作的平移台，最高真空度可达10-8mbar.
主要特点
l 高分辨率
l 高重复定位精度
l 采用滚珠丝杠，实现高精度定位
l 采用高等级交叉滚珠导轨，具有超高运动性能
u 主要应用
超精密激光加工、超精密三维扫描测量、全自动计量仪器检测设备、工业自动化等领域。
主要参数：
Characteristics | Specifications | ||
Travel | 6mm | 16mm | 32mm |
Theoretical resolution | 200nm/step | 1.56 mm/ step | |
Unidirectional repeatability | 3 mm | ||
Max Velocity | 0.2mm/s | 1.5mm/s | 1.5mm/s |
Load capacity | 1 Kg | ||
Size | 48′18′13 mm | 40′40′17 mm | 80′40′25 mm |
Material | Aluminum | ||
Variant and option | High or Ultra-high vacuum preparation | ||
Absolute encoder on motor side | |||
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