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混气系统3路质子GSL-3Z是用于控制一种到三种的气体流经真空密封的管式炉，这种气体控制系统安装在移动架内，管式炉可以放在移动架上面，气体控制系统的前面板上有控制并显示气体流量的调节阀，可以用于CVD系统及退火炉，用来研究气体环境对材料的影响，在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。
产品型号 | 混气系统3路质子GSL-3Z |
主要特点 | 精度高，运行稳定可靠，工作压力范围宽，可在高压或真空条件下工作，且操作使用方便。 |
技术参数 | 1、电源：185-245V 50Hz 2、最大输出功率：18W 3、控制范围：控制器1——0-100SCCM、控制器2——1-199SCCM、控制器3——1-499SCCM 5、准确度：±1%FS 6、线性：±0.5-1.5% 7、重复精度：±0.2%FS 8、响应时间：气特性1-4s，电特性10s针阀：316不锈钢 9、工作压差范围：0.1-0.5 MPa 10、压力表测量范围：-0.1-0.15MPa（0.01 MPa/grid） 11、混气罐：?80mm×120mm 12、截止阀：?1/4″，316不锈钢针阀 13、工作温度：5-45℃ |
产品规格 | 尺寸：600mm×600mm×650mm |
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