1、炉管内的正压不可高于0.02Mpa。 2、由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀。建议在本司选购减压阀。本司减压 阀量程为0.01Mpa-0.1Mpa,使用时会更加精确安全。 3、当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态。 4、进入炉管的气体流量需小于200SCCM,以避免冷的大气流对加热石英管的冲击。 5、石英管的长时间使用温度<1100℃。 6、对于样品加热的实验,不建议关闭炉管法兰端的抽气阀和进气阀使用。若需要关闭气阀对样品加热,则需时刻关 注压力表的示数,若气压表示数大于0.02MPa,必须立刻打开泄气阀,以防意外发生(如炉管破裂、法兰飞出 等)。 |