SEM-Base VI是TMC STACIS主动压电振动消除产品系列的新一代产品。SEM- Base VI设计用于承载所有商业扫描电子显微镜(SEMs)、多数聚焦离子来显微 镜(FIB)及小型双尤来设备。SEM-Base VI可以提供升级版的振动隔离性能及更快更强劲的控制器,带有高级图形用户界面(GUI)。SEM-Base VI让越来越多的实验室、工厂可以实现能够满足其关键设备所要求的地面振动水平。
SEM-Base VI采用独特串联结构,振动传感器测量的是地面振动,不是负载振动。这样就确保了负载谐振将不会限制平台的振动隔离或者引起不稳定性。振动传感器采用低频惯性速度传感器,在测量亚Hz振动时具有很大的敏感度。加上TMC独特的压电致动技术,SEM-Base VI即使在振动情况已经很好的地面上也可以实现超高水平的振动消除。
相比之前的SEM-Base版本,SEM-Base VI的振动隔离能力平均来说增加了6dB,而且采用了TMC新一代控制器DC-2020,采用新式双核处理器,为设备拥有者及研究者提供非常简单易于使用的图形用户界面,可以快速进入系统并实现平和的操作心态。当通过Ethernet连接时,DC-2020在用户的浏览器上即可实现SEM-Base图形用户界面,无需额外安装软件或者应用程序。当然用户也可以通过控制器的菜单驱动液晶屏(LCD)直接进行控制。
TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base® VI优势:
硬式装载技术
SEM-Base VI兼容 SEM 内部预装的任何隔振系统,从0.6Hz开始主动强力消减地面低频振动。
主动惯性振动消除
SEM-Base VI采用高灵敏度的低频惯性速度传感器,即使在安静的地面上也可以达到高水平的振动衰减。
串行设计与压电技术
独特串行设计加上高强度压电专利技术,SEM-Base VI不但达到了宽至0.6Hz-150Hz的主动带宽,更实现了无与伦比的惯性主动振动消除,2Hz以上的振动衰减可达 90%以上。
完全集成式的单平台设计
SEM-Base VI设计与制造的集成化,将安装平台的工作简化,简单的定位与设置之后即可正常工作。
NOTE:可选SEM-Closure,专门设计用于保护SEM的完整环境解决方案。在SEM- Closure密封隔音室内可兼顾放置 SEM-Base VI与Mag-Net X,保护SEM免除振动、磁场扰动与声波噪音的影响
TMC主动式压电陶瓷振动消除地面式光学平台 SEM-Base® VI特点:
STACIS专利技术
主动惯性振动清除系统
895×1124×160 mm (35.25×44.25×6.3 in.)适合绝大多数商业SEM
负载能力:408-1134kg (900-2500 lb.)
隔振效率1Hz:40-70%
隔振效率经2Hi:90%
隔振效率>3Hz:90-98%
6个主动自由度
安装容易,调试简单
兼容所有设备内直的振动隔离系统
电源:100-240VAC, 50/60Hz, <600W
是否需要空气:非气浮系统
CE与RoHS认证
完全集成式的单平台设计
可安装脚轮,轻松便携移动,无需搬运
兼容SEM-lift系统
SEM-Base® VI 性能规格:
Active degrees of freedom | 6 |
Active bandwidth | 0.6 Hz - 100 Hz |
Passive natural frequency | 12 Hz nominal |
Effective active resonant frequency | 0.5 Hz |
Isolation at 1 Hz | 40% - 70% |
Isolation at 2 Hz | 90% |
Isolation at ≥3 Hz | 90-98% |
Internal noise | <0.1 nm RMS |
Operating load range | Standard capacity: 900 - 2,500 lbs (408 - 1134 kg) |
Static lift capacity | 12,000 lbs (5454 kg) |
Magnetic field emitted | <0.02 μG broadband RMS |
隔离器设计,尺寸,环境和实用要求
Environmental and safety | CE and RoHS compliant |
Active isolation elements | high-force piezoelectric actuators that receive signal |
Passive isolation element | single stiff elastomer (no compressed air supply required) |
Vibration sensor elements | downward facing geophone type inertial sensors |
Active feedback control loop | Floor vibration is measured, processed |
Dimensions (WxD) | 35.25 x 44.25 in. |
Height | 6.3 in. (160 mm) nominal, |
Operating temperature | 50° - 90° F |
Storage temperature | -40° - 130° F |
Humidity (operating) | 30 - 60% |
System power requirements | 100, 120, 230, 240 VAC |
Floor displacement | <800 μin. (20 μm) below 10 Hz |
内置控制器规格
Processor | 150/75 MHz dual core |
Sampling rate | 10 kHz |
Analog outputs | 16 channels |
Analog inputs | 16 channels |
Status light | single LED |
Front panel ports | 1x serial USB 2.0 |
User interface | Front panel LCD display |
性能曲线:
1800 lbs (818 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C (500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
产品尺寸:
现场图片:
相关产品