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规格：
| 型号 | MU100X | MU180X | MU300X | MU600X | MU1200X | MU20M18X |
| 几何抽速 | 1660L/min | 3000L/min | 5000L/min | 10000L/min | 20000L/min | 30000L/min |
| 极限压力 | 1.5Pa | 0.5Pa | ||||
| 电源电压 | 3相 AC200～220V | |||||
| 功耗 | 0.35kW | 0.5kW | 0.55kW | 0.6kW | 0.7kW | 1.5kW |
| 外形尺寸 | W:230mm | W:280mm | W:230mm | W:230mm | W:275mm | W:500mm |
| H:275mm | H:299mm | H:520mm | H:520mm | H:580mm | H:950mm | |
| L:450mm | L:550mm | L:450mm | L:530mm | L:625mm | L:1100mm | |
| 重量 | 60kg | 95kg | 100kg | 120kg | 165kg | 340kg |
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