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等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200

报价 ¥55万

品牌

雅马拓

型号

PDC200

产地

亚洲日本

应用领域

暂无

进口等离子清洗器

射频RF13.56Mhz

0-300W

W540×D600×H600mm

W400×D250×H150mm

铝制

二路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体

全自动控制

微波等离子体

欠填充等离子体

wafer plasma

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等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200产品介绍:

小型桌上型高频等离子表面处理装置

操作性·功能

● 射频13.56Mhz 0-300W高功率机型,发生器自动匹配,无需调节反射波,进一步增加的操作的便捷性。

● 标准配备数字式皮拉尼传感器,实时显示真空度,使得控制更为精确。

● 平行平板腔体非常适合于实验室处理比较纯净的晶圆、硅片等样品,无需担忧因为腔体材质的原因导致样品受到污染。

安全性·保护

● 装载有温度、压力、等离子发生器异常等三层报警灯,可实时监测和了解机器的运转状态。

● 装载有过电流漏电保护开关、自诊断回路、异常时蜂鸣器报警等安全功能。

等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200产品优势

●等离子清洗机清洗效果好,清洗效率高,功率大,应用范围广。

●对清洗样品,没有任何材质、外观尺寸等要求。

●等离子清洗过程中,温升很小,基本可达到常温处理。

●高效的特制电极,是产生均匀等离子体的保证。

●特制电极和托盘结构,可保证样品可得到全面有效的清洗。

等离子清洗机YAMATO等离子清洗机PDC200规格

型号

PDC200

方式

RIE模式、平行平板腔体

性能

发生器功率:

0-300W

发生器频率:

射频RF13.56Mhz

发生器匹配方式:

自动匹配(Auto matching

构成

腔体材质:

铝制

腔体内尺寸:

W400×D250×H150mm

反应气体:

二路工艺气体,可支持氧气、氩气、氮气等非腐蚀性气体。

控制方式:

全自动控制

真空度显示:

数字式皮拉尼传感器,实时显示腔体内真空度。

配管材质:

SUS不锈钢以及特氟龙

门:

                                            铰链门

外形尺寸:

W540×D600×H600mm

真空泵抽速:

4m3/hour

电源规格:

                                        AC220V  10A

重量:

100kg


典型用户
用户单位 采购时间
日本kashiyama 2023-10-18
德祥科技-Think-lab 2023-08-13
德国海道尔夫(Heidolph)公司 2023-07-13
美国orion 2023-10-11
永诺生物 2023-06-23
中科都菱 2023-02-23
售后服务

30天

1年

安装调试现场免费培训

24小时内

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发布心得活动

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