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产品名称：Harrick PDC－32G－2 产品规格： |
型号规格：PDC—32G－2
整机规格：8.5×10×8（长×宽×高）英寸 (216×254×203)mm
反应舱规格：Φ3×L6.5英寸耐热玻璃 (Φ76×L165)mm
反应舱有效容积：0.75L
输入电源：220 V／50Hz
整机输入功率：100 W
射频输出档：低档680V DC、10mA DC、6.8W/中档700V DC、15mA DC、10.5W/高档720V DC、25mA DC、18W
常用工作气体：空气、氩气、氮气或混合气体等
特征：紧凑的台式设备，应用一个最大功率为18瓦的RF线圈，没有RF幅射，符合CE安全标准。舱盖可拆卸。
选配件：石英等离子清洗舱
提供各自计量两种不同气体进气和监测压力的气体计量混合器Plasma FloTM
需要：兼容的真空泵，最小速率为1.4 m3/hr，最大极限为200 MTorr
包括：1/8英寸NPT针阀束引入气体和控制压力
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