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低压吸附真空解吸，即在穿透大气压（风压）的条件下，利用VPSA专用分子筛与干燥剂形成的混合床层选择性吸附空气中的氮气、二氧化碳和水等杂质，令氧在床层末端聚积并收集，在抽真空的条件下对吸附饱和状态的分子筛床层进行解吸，从而循环制得纯度较高的氧气（90～95%）。VPSA能耗较低，制氧设备越大其能耗越低。
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