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SNSPD器件由中科院上海微系统所（SIMIT)研发。上海微系统所自2007年开始开展SNSPD研发工作，具有国际先进水平的超导器件工艺平台，实现了从薄膜材料、器件设计和加工的全自主研发。首创片上集成滤波器SNSPD器件，实现暗计数≤1Hz，探测效率≥80%的高性能器件，已获中、美、日专利授权。 |
●探测效率高:＞90% ●暗计数低:＜1Hz ●高稳定性 | ●计数率高：＞100MHz ●时间抖动小:＜20ps ●个性化定制 |
参数细节
探测效率和暗计数率曲线
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