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三坐标测量机的检测速度与精度逐年俱增。新型三坐标测量机需要安至在刚性地面上才能有精确的重复性。因此震动是让三坐标测量机精确使用所需环境的重要因素之一。
在理想的情况下，三坐标测量机的每一构件均在同样的频率，振幅相位与方向震动，因此量测结果没有错误发生。
三坐标测量机的制造厂商通常会提供测量机可容许的震动量上限的规范。此项规范是决定三坐标测量机是否需要减震设备的根据。
当三坐标测量机需要减震时，通常需要处理低频(低于30赫兹 )震动的减震。Fabreeka低频减震器可对精密量测仪器提供有效的减震功效。
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