仪器对比
关注
样本下载
产品用途：
产品专业性：
PECVD系统是借助射频使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子体化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉积出所期望的薄膜。
产品组成：
PECVD系统配置：
1.1200度开启式双温区真空管式炉
2.等离子射频电源
3.多路质量流量控制系统
4.真空系统（可选配中真空或高真空）
产品特点：
生长温度低；沉积速率快；成膜质量好，适用范围广，设备简单。
售后服务
1年
否
无
参考合同条款
参考合同条款
参考合同条款
参考合同条款
- 相关仪器
1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统信息由天津中环电炉股份有限公司为您提供，如您想了解更多关于1200℃滑动双温区/多温区PECVD系统报价、型号、参数等信息，中环电炉客服电话：400-860-5168转1978，欢迎来电或留言咨询。
相关产品
