HXP高精度位移台
特征:
每个 Newport 六足位移台型号的联接系统都是独yi无二的,这样可以提高载重下的位置稳定性。Newport 六足位移台采用球形接头或万向接头设计,与相似尺寸的其他六足位移台相比,拥有五倍以上的刚度和两倍以上的载重能力。
六足位移台的顶板由六个同步的高性能促动器驱动,编码器安装在丝杠螺母上,用以实现精确 MIM、低侧隙与高速特性。
应用:
光学器件和卫星装配与测试
AED 模拟
天文
生物技术和外科手术
X 射线衍射
微加工和显微操纵
型号 | HXP50HA-MECA | HXP100HA-MECA | HXP100PHA-MECA |
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尺寸 | ?200 x 151 mm | ?300 x 209 mm | ?300 x 209 mm |
行程范围 X、Y、Z 1 | ±17, ±15, ±7 mm | ±27.5, ±25, ±14 mm | ±27.5, ±25, ±14 mm |
行程范围 ΘX、ΘY、ΘZ | ±9, ±8.5, ±18 ° | ±11.5, ±10.5, ±19 ° | ±11.5, ±10.5, ±19 ° |
最小位移增量 X、Y、Z 2 | 0.10, 0.10, 0.05 μm | 0.50, 0.50, 0.25 μm | 0.10, 0.10, 0.05 μm |
最小位移增量 ΘX、ΘY、ΘZ | 0.05, 0.05, 0.10 mdeg | 0.25, 0.25, 0.5 mdeg | 0.05, 0.05, 0.10 mdeg |
单向重复精度 X、Y、Z - 典型值 | ±0.10, ±0.10, ±0.05 μm | ±0.14, ±0.13, ±0.05μm | ±0.10, ±0.10, ±0.05 μm |
单向重复精度 X、Y、Z - 保证值 | ±0.15, ±0.15, ±0.075 μm | ±0.25, ±0.25, ±0.125 μm | ±0.15, ±0.15, ±0.075 μm |
单向重复精度 ΘX, ΘY, ΘZ - 典型值 | ±0.05, ±0.05, ±0.10 mdeg | ±0.125, ±0.125, ±0.25 mdeg | ±0.05, ±0.05, ±0.10 mdeg |
最da速度 X、Y、Z | 14, 12, 5 mm/s | 2.5, 2, 1 mm/s | 12, 10, 5 mm/s |
最da速度(ΘX、ΘY、ΘZ) | 6, 6, 15 °/s | 1.8, 1.7, 3 °/s | 8, 8, 16 °/s |
刚度(X、Y、Z) 3 | 2, 2, 25 N/μm | 5, 5, 40 N/μm | 3, 3, 24 N/μm |
俯仰 X、Y、Z,保证值 | ±50, ±50, ±25 μrad | ±75, ±75, ±75 μrad | ±37.5, ±37.5, ±37.5 μrad |
偏摆 X、Y、Z,保证值 | ±50, ±50, ±25 μrad | ±75, ±75, ±75 μrad | ±37, ±37, ±37 μrad |
中心负载 4 | 50 N | 200 N | 60 N |
电缆长度 | 3 m | 3 m | 3 m |
重量 | 2.2 kg | 7.2 kg | 7.2 kg |
jue对精度 XYZ,保证值 | ±5.0, ±5.0, ±2.5 μm | ±10, ±10, ±5μm | ±5.0, ±5.0, ±2.5μm |
注意:具体价格请咨询销售经理,网上标价不作为实际成交价格。
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1年
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2022-06-15
2021-01-22
2020-12-29
2020-12-15
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