N-TEC全自动晶圆贴片机BW 228-5FA
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N-TEC全自动晶圆贴片机BW 228-5FA

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品牌

暂无

型号

BW 228-5FA

产地

港澳台台湾

应用领域

暂无
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N-TEC全自动晶圆贴片机BW 228-5FA 

 

 

 
卖点

  • SECS / GEM 功能

  • 全自动晶圆贴膜

  • 胶带消耗最小化

 
专利

翘曲片取片

 
机台优势

  • 采用 UV-LED 灯组，无臭氧污染

  • Loading / Unloading 卡匣数量多

  • 双屏幕方便操作

  • 重要统计数据可图表化

 
作业方式

操作人员将 6 吋晶圆卡匣（Loading）、晶圆出料卡匣（Unloading）、及各膜料放至预定位置后开始作业。

  • 步骤一：利用机械手臂，将 6 吋晶圆从卡匣（Loading）取出，经中心对位（Alignment）及正反面判读后，再放置于晶圆吸附平台上。

  • 步骤二：晶圆吸附平台移至胶膜贴合位，利用贴膜滚轮将胶膜贴至晶圆上。

  • 步骤三：切割刀下降至预定位置，旋转刀具切割膜料，切割完成后上升。

  • 步骤四：移载台移回至取片位。

  • 步骤五：出料取片手臂机构将晶圆从移载台取至 UV-LED 灯机构位进行照射。

  • 完成 UV 照射后，出料取片手臂机构再将成品取回，放至晶圆出料卡匣（Unloading），完成。

 
设备规格

设备尺寸

2150 mm × 1600 mm × 2530 mm ( Ｗ×Ｄ×Ｈ )

设备重量

2500 kg

电源ＡＣ

工作电压：415 ( 3 phase ) / 240 ( 1 phase ) Volt. (V)

厂房安全电流：60 A

空气源

Air Pressure 0.8 MPa

Air Tube Diameter ? 12 mm

 
设备应用范围

晶圆尺寸

6″

晶粒尺寸

–

雷切深度

–

铁环尺寸

–

膜料尺寸

宽 180~250 mm × 长 100 M

 
机台特性

 

 


售后服务

1年

否

无

免费安装及技术培训

6个月一次。

经确认质量问题，免费更换。

24小时内到达现场并开始维修

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