本产品是本公司全新自主研发的桌面式射频等离子清洗机. 全系列射频工作频率13.56MHz、27.12MHz、40.68MHz,功率等级从100W-300W;并且相配套的匹配器也采用全自动匹配器算法,大大简化人工调谐的复杂度;它可以成为您在科研、小批量试产中进行材料表面处理、更高效清洁的好帮手。 它采用304不锈钢腔体,容量高达5.3L;拥有直径100mm大尺寸可视窗口,让您对每一个工艺瞬间都能直观的了解;工作频率为27.12MHz(每秒振荡次数高达2700万次),这是保证真空高效清洗的前提,通过试验发现清洗效果远远优于直流、中频等常规清洗机;它广泛应用于手机屏幕、仪表光学镜片等精密部件的高效清洗,也可用于材料表面的亲水性处理;总之,相信在您的研究下,这款产品定能为您的每一个新的工艺和配方展现它完美的表现,期待您的使用。
1) 本产品在集成化和小型化方面具体很强的优势,相对于同等频率、功率、容量等条件下;
2) 采用7寸大尺寸触摸屏控制,轻松实现人机交互,减少复杂的机械按键和旋钮操作;
3) 面板仅保留一个电源开关,其他的控制全部交给触摸屏实现,简单易学、直观明了;
4)两路浮子流量计保证工艺气体要求的多样性;
5) 集成触摸屏控制真空泵、气路、破真空的开启和关闭;
6) 通过触摸屏可以任意设置射频功率、工艺时间、工作真空度,并具有设定参数记忆功能,避免重复性工作;
7) 内部集成自动匹配器,简化不同工艺条件下繁琐的匹配手动调节;
8) 内部集成数显真空计、功率计和定时器,实时监控真空度、功率值和工艺时间,让您对所有的工艺参数了如指掌;
9) 日期和24小时制时钟显示,提醒勤奋的您也要记得小憩片时;
10) 工艺处理完成后自动安全关闭所有部件并伴有声音报警,提醒您是时候开舱检验您的工艺效果了;
产品型号 (RPC-1305\2705\4005) | ||
主要部件 | 部件名称 | 参数指标 |
控制系统 | 集成触摸屏 | 7寸电阻触摸屏 |
等离子激发 | 电容耦合式(CCP) | |
工作时间 | 0-9999s(任意设定) | |
真空腔体 | 腔体容量 | 5.3L |
腔体尺寸 | 内径:150mm; 长度:300mm | |
腔体材质 | 304不锈钢 | |
舱门 | 铝合金舱门(配不锈钢铰链) | |
样品支架 | 铝合金筛板,厚度:3mm | |
射频源 | 信号频率 | 13.56MHz、27.12MHz 、40.68MHz±0.005% |
功率范围 | 0-100W任意设定(功率等级200W/300W可选) | |
功率稳定度 | ±0.1% | |
匹配器 | 匹配类型 | 全自动匹配 |
匹配时间 | ≤3s | |
气路 | 气体测量 | 浮子流量计 |
气体通道 | 2通道 | |
气体1量程 | 10~100ml | |
气体2量程 | 10~100ml | |
气路接头 | 外径:6mm气管 | |
真空 | 真空测量 | 集成数显真空计 |
真空泵类型 | 双极旋片泵式 | |
抽气速率 | 2L/s(4L/s可选) | |
极限真空度 | 0.067Pa | |
抽气接口 | KF16-不锈钢波纹管 | |
整机 | 整机功率 | 1kW |
整机总尺寸 | 580(L) *715(D)* 240(H)mm;(其中舱门+拉手+接头:195mm; 防滑底座:10mm) | |
整机重量 | 24kg(不含真空泵及配件) | |
工作电压 | 220Vac 50/60Hz | |
工作环境 | -10℃ -- 40℃ | |
冷却方式 | 强制风冷 |
1年
是
有
远程技术指导,视频培训
1年1次
质保期内,一切维护免费
返厂维修或替换
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