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技术参数：
量程范围 50，100，200，500 CCM
LPM
精度等级 ±2% 满量程
重复性 ±2% 满量程
量程比 50:1
响应时间 100 毫秒
压降大小 随量程范围变化 PSID
操作温度 +1～+50 ℃
补偿温度 +1～+50 ℃
零点漂移 0.02%/ATM 0.02% 满量程℃
范围漂移 0.02%/ATM 0.02% 满量程℃
湿度量程 0-100% 0-100% 无冷凝
过流率 2.4% 2.4% 满量程
最大耐压 100 100 PSIG
供应电流(典型) 30 250 毫安
电压电源 12-30 12-25 VDC
输入/输出 0-5VDC,0-10VDC,4-20mA,RS-232 VDC
电气连接 8针 8针 DIN小型圆插头
机械连接 1/8″-1/4″ 1/8″ NPTF
接液部件
303不锈钢，Viton ，RTV硅树脂，PolyethermideR
阀门仅为：阳极氧化铝，410和304不锈钢，镍，铜，Viton ，Delrin ，Loctite
附加326，401，609
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