仪器简介:
广范围用于表面粗糙度、三维形貌、微观结构精密测量和分析;
技术参数:
RMS可重复性(标准模式):1nm 外侧面采样:0.11到8.8μm
RMS可重复性(精度模式):0.1 nm 视场:8x10mm(@0.78x)到
RMS可重复性(单波段):0.05 nm 0.84x0.063mm(@100x)
垂直扫描范围:30μm,100μm 最大斜度:40°到3.2°
或者10mm 校准精度:超过0.1%
数据采集时间:最高可到7.2μm/s 反射率:1%到100%
主要特点:
二维、三维干涉高精度成像;
工业标准统计用报告或者图形数据的形式存储;