日本小岛全金属型高精度质量流量控制器DF-500C

报价 ¥9100

综合评分暂无

品牌

科赋乐

型号

DF-500C系列

产地

中国大陆上海

应用领域

暂无

营业执照已认证

产品详情

应用：

　　DF-500系列　全金属质量流量控制器适合于半导体工艺、腐蚀性气体质量、流量高准确度

特性：

　　1.采用新型电磁阀，提升了响应性，实现了整个区域1秒钟以内高速响应

　 2.采用不锈钢密封材质，可支持高反应性气体

　　3.10SCCM~10SLM的产品阵容

　　4.配备了2个通信端口，支持菊花链

　　5.标准配备了RS-485通信功能

　　6.支持ROHS、CE规格

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传感器方式		热绕组传感器
阀门方式		比例电磁阀（未通电时关闭）
目标气体（* 1）		N2，Air，H2，He，Ar，O2，CO2等
		（未记载的气体换算成N2进行校正）
流量范围（* 2）		10 SCCM~10 SLM
控制范围		2~100％（F.S.）
响应能力		总流量控制范围 1sec内（wihtin±2％F.S.）
		L：50kPa~149kPa H：150kPa~300kPa
精度（* 3）		±1.0%F.S.
再现性		±0.25%F.S.
工作压差（* 4）		50~350 kPa（F.S.10 SLM：100~350 kPa）
耐压		980kPa(G)
He泄漏率		1 x 10-11 Pa.m3 / sec以下
温度	使用温度	5～50℃
	精度保证温度	15～35℃
	允许储存温度	-10～60℃
允许环境湿度		10～90%RH （无结露）
气体接触材料		SUS316L，磁性不锈钢，PTFE，Ni-Co
电气连接		D-sub 9针KFC Standard（依据SEMI standard），RJ-45模块化插孔x 2
流量设定信号		0~5 VDC（输入电阻约1MΩ）
流量输出信号		0~5 VDC（负载电阻10kΩ以上）
数字通信		使用RS485旋转开关设置地址：最多99台（9600 bps）
所需电源（DC）		+15 VDC（±5％）：150 mA，-15 VDC（±5％）：150 mA
接头		相当于1/4 VCR
安装姿势		推荐水平方向
重量（* 9）		约1100g