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KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列

报价 ¥8万 - 10万

品牌

法国kloe

型号

UV-KUB系列

产地

欧洲法国

应用领域

暂无

KLOE 微流控芯片光刻机/曝光机 UV-KUB系列

图片

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简介

法国KLOE公司在光刻方面有着丰富的经验,其研发的UV- KUB系列光刻机是一种基于UV LED的曝光机系统,结构紧凑,可以直接放置在实验台上,能够处理zui大直径4英寸的晶圆,兼容硬接触(接触式)或者软接触(接近式)工艺,可自动调整掩膜高度以适应不同的基板厚度,可使用365 nm或405 nm的光源,不需要预热,也不需要单独的冷却单元。另外,UV-KUB系列先进的设计,保证了光源的准直性和均匀性,其zui小分辨率可达2μm,zui大发散角小于2°

本系统适用于市面上常用的光刻胶,如AZ系列、Shipley系列、SU-8系列和K-CL系列。


规格参数

 

项目

UV-KUB 2

UV-KUB 3

zui小分辨率

2 μm

2 μm

光源波长

365 nm / 385 nm / 405 nm

365 nm

能量密度

25 mW / cm2 ± 10 %

30 mW / cm2 ± 10 %

热效应zui大升温

< 1°C

< 1°C

曝光时间

1s~18 hours

1s~18 hours

zui大存储程序数量

10个

无限制

对准分辨率

/

 < 3 μm

外形尺寸

260 x 260 x 260 mm3

480 x 480 x 480 mm3

重量

8.2 kg

55 kg

显示屏

彩色触摸屏5.7 inches

彩色触摸屏15.6 inches

 

功能图解

UV-KUB 2型光刻机,是国际市场上一款采用UV-LED光源系统的光刻机,其配备了基于LED光源的光学头,使用寿命大大提高,结构小巧,性价比高,非常适合实验室应用。

UV-KUB 3是一款带对位功能的UV-LED曝光机,光源为365nm,其触摸屏和CCD相机代替了传统的显微镜及双筒目镜,控制器提供了图像捕获、测量以及对齐坐标的记录等功能,可以实现预对准,这样,用户再通过操作手柄便能方便的进行对准操作。

 

UV-KUB 2

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UV-KUB 3

3 550.jpg


应用系统

微流控芯片

MEMS器件



售后服务

1年

具体产品服务根据合同内容。

具体产品服务根据合同内容。

具体产品服务根据合同内容。

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