项目 | 描述 | |
分辨率 | 二次电子分辨率 |
30kV时,3.0nm(高真空模式) 3kV时,10nm(高真空模式) |
背散射电子分辨率 | 30kV时,340nm(低真空模式) | |
放大倍率 | ×5-×300,000 | |
加速电压 | 0.3-30KV | |
低真空范围 | 6-270pa图形菜单 | |
图像移动 | ±50μm(WD=10mm) | |
最大样品尺寸 | Ф300mm | |
样品台 | X | 150mm |
Y | 110mm | |
Z | 5-65mm | |
R | 360° | |
T | -20°-90° | |
观测区域 | Ф203mm(可旋转) | |
最大高度 | 110mm(WD=10mm) | |
样品台控制 | 计算机控制5轴马达驱动优中心 | |
电子光学 | 电子枪 | 预对中钨灯丝 |
物镜光阑 | 可移动式4孔物镜光阑 | |
枪偏压 | 带可控4偏压 | |
检测器 |
埃弗哈特 索恩利二次电子检测器 高灵敏度半导体背散射电子探测器,五分割 |
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分析位置 | WD=10mm 取出角=35° | |
显示器 | 自动合轴 | 自动设定束流,自动合轴 |
自动图像调整 | 自动聚焦,自动消像散/聚焦,自动调整亮度和对比度 | |
存储图像精度 | 640×480像素,1280×960像素,2560×1920像素,5120×3840像素 | |
图像文件格式 | BMP,TIFF,JPEG | |
图像显示模式 |
全屏显示1280×960像素,小屏显示640×480像素, 双屏显示640×480像素×2,信号混合模式 |
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真空系统 | 操作 | 全自动程序 |
涡轮分子泵 | 210L/sec.×1 | |
机械泵 | 135L/min.(162L/min.60Hz)×1 | |
安全措施 | 断电保护,漏电保护 | |
辅助功能 | 光栅旋转,动态消像散 | |
动态聚焦/倾斜补偿功能 | ||
自由排版打印功能,字母/数字功能 | ||
三维动画维修指南 | ||
导航,测量方便,倾斜画面 |
1年
否
无
无
无
正常使用情况下免费提供更换零部件
及时维修
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