新型气动式探针台,在常规探针台基础上升级了气动控制单元,改变了以往单纯依靠手柄旋转移动载物台的方式。
新设计的T-150系列探针台结合了气动式和手柄移动式两种控制模式,具有快速移动的优点,又可以准确的位移调节。特别适合晶圆测试应用,也可用于单个器件,或样片的测试。
特殊功能:
台面升降微调装置
可按照测试需要对台面进行升降调节,行程可达10mm,可配合左侧升降杆一起操作,方便取放待测件。旋柄采用合金材料制成,做工精美。
金相显微镜系统
搭载金相显微镜系统,放大倍率可达2000X,可自由切换不同倍率的物镜,常规物镜倍率有5X/10X/20X/50X和100X可选。
预接触控制单元
预接触控制单元可使探针尖灵活升高300微米,可升高3毫米。对于测试完一个芯片转向下一个芯片时,只需一步就能将所有探针升起,从而便于移动晶圆(或载物台)到下一个测试位置。经过我们精心的研究后设置了300微米作为一个档,即使升起后依然能见探针,移动晶圆是更加清晰明了。该装置也可更助于快速更换被测晶圆,是传统探针台功能上的一大提升。
精密千分尺调节器
较其他普通探针台做的一项升级,在气动控制单元上加装的千分尺,可以将载物台位移精度提高到亚微米级,甚至更高。
成都测芯科技有限公司(CHIPTEST)
主要产品:探针台(Probe Station)。包括4寸、6寸、8寸、12寸常规探针台、高低温真空探针台、RF / mmW测试探针台、高压探针台、磁场探针台以及红外探针台等。可以按照特殊要求进行设计定制。
代理美国GGB探针:GGB探针有ST系列硬探针、T-4系列柔性探针、Model系列微波探针(频率可到500GHz,分波导接口类型和同轴接口类型两种)、有源高阻探针、差分探针、定制探卡等,欢迎咨询。
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