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原子力显微镜主动减振台/减震台
品牌：HERZ
型号：AVI-600-XL
描述：AVI系列是一款紧凑型模块化的主动隔振系统，有利于为基础研究、应用研究、生产等领域所用精密仪器创造稳定的测量环境。AVI系列可在宽频率范围内进行隔振，为原子力显微镜、非接触式表面轮廓仪、激光干涉仪、微型检测设备等提供优异的隔振性能。
适用于各类大型电子显微镜AEM\SEM\ATM\TEM,干扰仪防震台，轮廓仪防震台，电子太平防震台，超快激光系统防震台，时频系统防震台，大型半导体设备防震台，激光设备主动防震！
产品亮点：
六个空间方向自由隔振(0.5Hz - 200Hz主动隔振, >200Hz被动隔振)
5-20ms响应时间
低频隔振性能优异,安装和使用简单
系统主动检测输入振动并动态消除
紧凑、模块化的多功能设计
稳定性高，能无故障连续使用多年
无低频共振、无空气要求
应用范围：
超高真空扫描探针显微镜（UHV-SPM）
光刻工具
高精度计量工具
光谱仪器
升级选项：
可与LFS低频稳定器配套使用来增强低频隔振效果，隔振频率低频段延伸至0.5Hz。
技术参数：
型号：AVI-600XL/LP
系统配置：独立隔振装置 & 控制装置
主动隔振范围：大致为1.0 Hz - 200 Hz
被动隔振范围:大致为200 Hz以上
显示屏信号:多路复用信号用于示波器显示器包含和不含隔振的振动水平。
LEDs 指示输出阶段的过载情况。
单元尺寸(每个):318 x 856 x 112.5 Hmm
控制器尺寸:448 x 286 x 143 Hmm
隔振单元重量: 34kg
负载能力:1200 kg (同等/低重心)
输入电压: 90 - 125 VAC / 200 - 250 VAC, 50 - 60 Hz
功耗：通常27W
温度范围：5℃ - 40℃
相对湿度：10 - 90 % (5 - 30 ℃)?10 - 60 % (30 - 40 ℃)
室内/室外使用：仅用于室内
隔振效果：
性能对比图：SEM 的研究人员在两种独特条件下进行成像： 不含隔振系统和包含AVI系列隔振台。当使用AVI系列隔振台搭载SEM时，所得图像表明图像质量和整体测量清晰度得到大幅提升。
原子力显微镜主动减振台/减震台
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1年一次
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