该型号为高性能型. 通过软件可进行mapping; 12"wafer 或碎片样品均可适用;低漏电流~50fA, 可选配加热卡盘,高倍显微镜,多通道探针卡,IV,CV,RF,高频等.
规格&应用:
-半自动探针台&全测量.
-12英寸低噪音卡盘。
-X,Y转台行程300 x 300mm.
-Z转台:上/下移动距离 15mm.
-高倍显微镜&高清CCD摄像机
-定位器:微型定位器主体单元PB100,真空底座分辨率1um.
-选项:暗箱,防震桌........
1年
是
有
1次培训
根据用户需求 具体商议
24小时内应答
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