ZEP520A 电子束光刻胶

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品牌

暂无

型号

ZEP520A

产地

亚洲日本

应用领域

暂无

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

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第5年

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产品详情

1. Characteristics

ZEP520A is high performance positive EB resists which show high resolution, high sensitivity and dry etch resistance.

They are suitable for various EB processes.

(1) Resolution

Shows high resolution and rectangle pattern profile.

(2) Resistance to dry etching

Shows high dry etch resistance and they are almost equivalent to that of positive photoresists generally used.

(3) Sensitivity

Shows high sensitivity.

2. Properties

7. Spin Curve

8.Dependence on Prebake Temperature

9.Dependence on Development Temperature

9.Dependence on Development Time

10. Examples of application

11. Dry Etching Resistance

12. Example of Process Conditions

13.Handling Precaution

(1) Flammable Liquid.

(2) Harmful by inhalation.

(3) Avoid contact with skin and eyes.

CAUTION: Open carefully. Use in well ventilated area. In case of contact with skin and eyes, rinse immediately with plenty of water for 15 minutes and get medical attention. In case of fire use Alcohol form CO2 or dry chemical, never use water.

STORAGE: Keep capped and away from oxidants, sparks and open flame. Store at cool[32?F(0?C)～77?F(25?C)] and dark place. Use in clean room.

14. Appendix

售后服务

保修期： 1年

是否可延长保修期：否

现场技术咨询：无

免费培训：免费安装及技术培训

免费仪器保养： 6个月一次。

保内维修承诺：经确认质量问题，免费更换。

报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修

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