激光源产生的紫外/软X射线辐射是Tingen在激光实验室开发的,由高脉冲能量YAG激光器(1064nm,800mJ,7ns)聚焦于气体电离产生。不同的目标气体对应不同的能谱分布。
产品特点
● 低残留
● 高EUV能量(3.5 MJ)
● 最低耗气量(气体脉冲持续时间:<1 ms)
● 简单目标气体交换
● 桌面系统
产品应用
● 计量:反射测量、吸收
● 光谱学(nexafs)
● 光学/传感器测试
● EUV损坏调查
● 材料相互作用基础研究
● 水窗显微镜(λ=2..4纳米)
技术参数
测试数据展示
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公司地址:上海市杨浦区黄兴路2077号蓝天大厦21F
1年
是
有
技术中心培训
3月1次
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