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| Max. axial load 最大轴负载 | 8300 N |
| Max. radial load 最大侧向负载 | 2570 N |
| Max. tilt load 最大摇摆负载 | 748 Nm |
| Axial stiffness 轴刚性 | 1660 N/μm |
| Radial stiffness 侧向刚性 | 514 N/μm |
| Tilt stiffness 摇摆刚性 | 37,4 Nm/μrad |
| Radial error motion 端跳误差 | < 100 nm LSC |
| Axial error motion 轴误差 | < 50 nm LSC |
| Resolution分辨率 | <0.1arcsec，取决于细分比（4× ~ 20000×） |
| Repeatability重复精度 | <0.5 arcsec 或者2倍分辨率 |
| Air consumption 耗气量 | < 100 Nl/min |
| Total mass 重量 | 175 kg |
| Encoder 编码器 | 47200 periods |
| Nominal torque 标称扭矩 | 3,0 Nm |
| Peak torque 峰值扭矩 | 9,0 Nm |
| Max. speed 最大速度 | 60 rpm |
| Angular accuracy 角精度 | 2,9 arcsec |
| Material 材料 | stainless steel |
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