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进口等离子体表面处理仪
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玻璃/柔性基板/芯片底部填充清洁
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自动
EcoClean系统为当今和下一代技术创建了先进的解决方案，为工程师提供了晶片的灵活性和可靠性：
•去除光刻胶
•公关目的
•聚酰亚胺去除
•有机物去除
•氧化铜去除
Yield Engineering Systems（YES）已将EcoClean设计为高产量，拥有成本低的单晶圆光刻胶去除系统。 ICP远程源产生原子氧，该氧与晶片表面的光刻胶发生化学反应。 通过采用下游抗蚀剂剥离工艺，可以实现高去除率，而不会造成基板和器件的电损坏或缺陷。 EcoClean提供了自动化的处理方法，气体消耗低，是一种环保的“绿色”解决方案。
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YES医疗设备行业的表面改性解决方案医疗/卫生 2021-04-30
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