30nm~1nm
60000x-150000x
500V - 15kV
30nm~1nm
ZEM15台式扫描电镜主要参数指标 | |
放大倍数 | 60000x 150000x |
加速电压 | 500V - 15kV |
电子源 | 预对中钨灯丝 |
聚光镜 | 两级电磁变焦聚光镜 |
样品台 | X-Y两轴自动样品台 |
样品台移动范围 | 30mm×30mm |
标准配置 | 背散射电子探测器 |
二次电极探测器 | |
CCD光学导航 | |
尺寸 | 主机283×553×505 |
机械泵165×300×150 |
1年
否
有
有
3个月1次
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