台湾菘启工业有限公司设计和制造温度测量解决方案,保证为您提供灵敏度、快速响应和一致的精度。并及时提供其创新的wafer晶圆解决方案。
TC WAFER则是直接镶嵌于晶圆表面的温度传感器,可以实现晶圆表面温度的实时测量。借助于放置在晶圆表面特定位置之温度传感器,可获得这些特定位置的真实温度测量值以及整天晶圆温度分布;同时,也可利用此传感器来持续监控在热处理工程中晶圆暂态温度变化,例如:升温,降温过程及延迟周期等!(温度的均匀与否,良率)
温度范围:
低温:-150 to 700°C(硅基胶粘剂)
高度:-150 to 1,200°C(焊接设计)
热电偶选型:
● Type K (精度级别±1.1°C or 0.4%) ,温度范围 -270 to 1,372°C
● Type N (精度级别±1.1°C or 0.4%), 温度范围 -270 to 1,300°C
● Type E (精度级别±1.0°C or 0.4%) ,温度范围 -270 to 1,000°C
● Type T (精度级别±0.5°C or 0.4%) ,温度范围 -270 to 400°C
● Type R/S (精度级别±1.5°C or 0.25%) ,温度范围 -50 to 1,768°C
晶圆材质:
硅、AlTiC、玻璃、陶瓷、碳化硅和其他客户提供的白板的、涂层的或图案基底。可按客户要求定制基板、形状和尺寸。
主要规格:
4寸,6寸,8寸,12寸
扩展线:可选绝缘层材质,接头类型。密封的扁平电缆,可在大气中打到10-7托。长度由客户选
传感器引线:长达40英尺–可定制,
被覆材质:石英 陶瓷纤维 TEF
绝缘材料:石英,聚四氟乙烯,二氧化硅,陶瓷,聚酰*胺
线规:20 AWG – 40 AWG
1年
否
有
上门培训
精度的测量
精度在1级精度,以及非人为的损坏
江浙沪24小时内
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