1/1

等离子体化学气相沉积系统

报价 面议

品牌

暂无

型号

0

产地

其他其他

应用领域

暂无

等离子体化学气相沉积系统

产品特点:

等离子源采用频率为13.56MHz射频发生器,同时具备物理清洗和化学清洗能力。

电源功率为200W,覆盖常规处理需求

创新设计,可调整电极之间距离,调整等离子体浓度和强度,大提升处理效率和能力

真空腔体和管道连接件均采用316不锈钢,电极6061航空铝合金,配件材质精良,保证设备稳定高效运行

样品处理面积可达125mm(大处理面积可达200mm,如有需求请咨询销售人员)

4.3寸工业级触摸屏,操作简单,可设置多种实验参数

性能稳定可靠,质量稳定,自主研发,售后有保障

等离子体化学气相沉积系统

产品参数:

1. 真空腔规格: 316不锈钢腔体,直径210mm*(深)230mm 约4L

2. 电极:两个自适应平板电极,材质T6061铝合金

3. 电极尺寸:120*135mm 间距20~75mm 可调

4. 等离子体发生器:RF射频发生器,频率:13.56MHz

5. 功率:0-200W连续可调,精度1W

6. 气体控制:针式气体流量阀,标配1路气体

7. 控制方式:4.3寸工业控制触摸屏

控制软件功能:界面显示实时工作状态,

可显示设置值与实际值,便于实时控制。

可自由设置等离子功率,通入气体时间

全手动控制和全自动控制可选

8. 保护装置:一键急停保护按钮

等离子体表面处理系统Pluto-M参数(标准配置)

外部尺寸

404*640*515mm


真空腔尺寸

直径210mm*230mm

不锈钢腔体

电极尺寸

125*125mm

多空自适应平板电极

等离子体发生器

RF射频发生器,频率:13.56MHz

自适应阻抗匹配电源

功率

0-200W连续可调

精度1W

真空计

热电偶真空计 0-1000mT


供气

1路气体

6mm国标连接件(软管)

控制方式

4.3寸触摸屏


可 选 配 置

ALC

纯铝腔体


RF-300

等离子体发生器

频率13.56MHz ,0-300W自动阻抗匹配电源

可调电极

可调节电极间距

电极间距20-60mm可调,改变等离子体场浓度特性

CM装置

沉积镀膜模块

用于改变表面特性:

1.    沉积CF材料,样品表面可以具有憎水的特性

2.    沉积含苯材料,样品表面起到绝缘防水的特性

3.    沉积含有羟基的材料,提高样品表面和其他材料的结合效果。

GP装置

气体纯化装置


PPU

粉体处理装置

用于处理微纳米级别颗粒


气体收集装置

用于收集等离子体化学反应后的气体


小型氧气发生器

用于制备氧气,可取代氧气罐


气体混合装置

可以根据可以要求进行混气设计


感应耦合模块

感应耦合等离子体装置


加热电极模块

电极可以加热,室温~200度可调。


光谱仪模块

可以增加光谱仪的接口,检测等离子体光谱变化


电极转换模块

可以自由变换电极设计,样品可以放在射频电极上,也可以放在地电极上。从而实现不同的处理效果。


售后服务

1年

免费提供技术支持及培训

1年

一年免费维修质保

24小时之内解决客户问题

查看全部
发布心得活动

暂无评论,点击发布评论

等离子体化学气相沉积系统信息由武汉赛斯特精密仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于等离子体化学气相沉积系统报价、型号、参数等信息,欢迎来电或留言咨询。

相关产品