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紧凑磁控溅射镀膜机
MBRAUN研发出一系列镀膜系统,配合多种可选配件和定制化方案,用于多种镀膜工艺领域中. MBRAUN的镀膜系统可集成多种主流蒸镀工艺,如热蒸镀、温控蒸镀(用于有机材料)、电子束蒸发等一体化方案;以及射频、直流或脉冲直流磁控溅射以及被动式磁控溅射等.
模块化设计
可单独使用(S)或集成于手套箱(G)
不同的模块之间可实现自由组合
多基板&多掩模工艺
一致性标准偏差在+/-3 %区间(几何式设计可缩小至+/-1 %)
OPTIvap 4可用于大小150x150 mm或直径150 mm (6英寸)的基板
OPTIvap 6可用于大小200x200 mm 或直径280 mm (8英寸)的基板
应用:
复杂的多层镀膜设备(用于OLED,OPV)
光学镀膜
光伏、半导体行业
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 无
免费培训: 3人一次培训
免费仪器保养: 半年一次
保内维修承诺: 免费更换配件
报修承诺: 华东区域24小时响应,其他区域48小时响应到达现场
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