规格&应用:
-8英寸卡盘,低漏泄电流-不超过50fA.
-X/Y轴行程 100 x 100mm,分辨率5um 旋转型.
-Z轴 上下10mm,分辨率 1um.
-显微镜&CCD摄像机
-针座&探针支架
-选项:暗箱,防震台,热夹头等.......
规格&应用:
-8英寸卡盘,低漏泄电流-不超过50fA.
-X/Y轴行程 100 x 100mm,分辨率5um 旋转型.
-Z轴 上下10mm,分辨率 1um.
-显微镜&CCD摄像机
-针座&探针支架
-选项:暗箱,防震台,热夹头等.......
1年
是
有
3人次现场培训
用户使用半年后,将安排一次应用培训以使用户达到熟练使用设备程度
设备保修期内不收取零部件及其它费用,实行保修服务。并提供设备终身售后服务
接到用户通知后,2小时内做出响应,24小时内给出明确解决方案
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