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高精度可编程真空压力控制器（压强控制器和温度控制器）
High Precision Programmable Vacuum Pressure Controller & Temperature Controller
一、简介
依阳公司出品的VPC2021系列控制器一种强大的多功能高度智能化的真空压力测量和过程控制仪器，采用了24位数据采集和人工智能PID控制技术，可与各种型号的真空压力传感器（真空计）、流量计、温度传感器、电动调节阀门和加热器等连接，可实现高精度真空压力（压强）、流量和温度等参量的定点和程序控制，是一种替代国外高端产品的高性能和高性价比控制器。
二、主要技术指标
（1）测量精度：±0.05%FS（24位A/D）。
（2）输入信号：32种信号输入类型（电压、电流、热电偶、热电阻），可连接众多真空压力传感器。
（3）控制输出：4种控制输出类型（模拟信号、固态继电器、继电器、可控硅），可连接众多电动调节阀。
（4）控制算法：PID控制和自整定（可存储和调用20组PID参数）。
（5）控制方式：定点和程序控制，最大可支持9条控制曲线，每条可设定24段程序曲线。
（6）控制周期：50ms。
（7）通讯方式：RS 485和以太网通讯。
（8）供电电源：交流（86-260V）或直流24V。
（9）外形尺寸： 96×96×136.5mm （开孔尺寸92×92Mm）。
三、特点和优势
（1）高精度24位数据采集，使得此系列控制器具有高精度的控制能力。
（2）具有各种不同类型信号的输入功能，可覆盖多种测量传感器，既可连接真空计用来控制真空压力和压强，也可用来控制其它变量，如连接流量计用来控制流量、连接温度传感器用来进行温度控制等。
（3）可连接和控制几乎所有的电动调节阀和数字控制阀门，也可连接控制各种加热装置，结合传感器由此组成可靠的闭环控制系统。
（4）控制器体积小巧和使用灵活，即可独立做为面板型控制器使用，也可集成在测试系统整机中使用。
（5）采用了标准的MODBUS通讯协议，便于控制器与上位机通讯和进行二次开发。
（6）具有2路输出功能，可实现真空压力的两种控制模式，一种是可变气流量（上游控制）压强控制模式，另一种是可变通导（下游控制）流量调节模式。
上游控制压强模式
下游控制压强模式
上游和下游同时控制的双向模式
四、外形和开孔尺寸
五、解决方案及应用
（2）星际空间环境地面模拟——气氛、气压或真空度的精确模拟及控制
（3）高纯度熔融石英圆筒等离子熔融工艺研究-真空度（压强）控制系统
（4）真空度（气压）控制中的上游模式和下游模式的特点及其新技术
（5）彻底讲清如何在真空系统中实现压力和真空度的准确测量和控制
（7）微波等离子体高温热处理工艺中真空压力的下游控制技术及其装置
（8）微波等离子体化学气相沉积（MPCVD）系统中真空压力控制装置的国产化替代
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