产品应用
适用于新材料(包括薄膜,纤维,粉末以及高性能复合材料等)的制备,金属制品的表面强化和防腐蚀,纺织品的后整理,高聚物聚合及其表面改性,微电子器件及高功率电子器件和光电子器件的制造,纳米材料的制备和器件的开发,高效照明光源和紫外光源的开发,有毒有害气体的分解净化及其它三废处理等多个工业技术领域。
产品特点
1、采用卧式高温管道式腔体结构,气路为左进右出,中间设置等离子观察口
2、左侧设置2路混气气氛结构
3、设置防漏波监视口,等离子激发状态,观察内部等离子体反应情况
4、采用PLC程序控制模式,具有更智能的工艺控制模式。
技术参数
产品类型 | 微波等离子体炉 |
型号 / 品名 | MKP-T2HA 微波等离子体炉 |
微波参数 | 功率 | 0~1600W / 2450MHz 无级可调 |
微波腔体 | 材质 / 密封 | 不锈钢一体焊接成型,真空密封,极限真空-0.099MPa |
等离子腔体 | 反应器 | 卧式石英管结构,微波等离子产生区(40×400mm) |
观察口 | 单观察口 |
气流控制 | 系统全密封,采用真空结构,进出气口,2路气氛 |
操控系统 | 温控 | ~1700℃红外测温 |
控制 | PLC智能控制,彩色触摸屏人机对话操作 |
数据 | 支持预制多个方案,多段记忆,数据导出;时间、温度曲线显示,即时监控 |
安装尺寸 | 宽*深*高 | 1500×800×800mm,台式放置 |