仪器对比
关注
光学元件
干涉仪
通常，我们不容易直接观测到1微米量级的动态现象的，此时，我们会选择光学干涉仪进行观测。例如，测量光学镜头的面精度的干涉仪，精密测量距离或位移的测长仪，需要精密测量位移变化的速度计或振动仪等，都是利用了光学干涉原理的典型仪器。市场上销售的大部分干涉测量装置是由光学干涉部分和信号解析部分组成的。
采用先进的电信号处理技术，可以同时实现高分辨率和很宽的测量范围。
但是，我们这里介绍的光学干涉装置，并不包含干涉条纹的电信号处理内容，我们重点介绍了其光学部分。因此，虽然其可观测的范围有限，但足以进行干涉计测的基础实验和理论验证。
业务范围
l 通用干涉仪，如迈克尔逊干涉仪、马赫曾德干涉仪、斐索干涉仪等；
l 集成光学干涉系统；
l 流体可视化光学系统；
l 干涉仪组件
l 干涉仪相关组件接受订制
特点
分辨率小于1微米
非接触（非破坏）测量
面（2维）测量
应用实例
面精度测量
测长仪
速度计／振动仪
酌情
否
有
酌情
酌情
酌情
酌情
相关产品
