LensThick 全自动非接触式光学测厚仪
报价 面议
仪器对比
关注
LensThick ATW/ATS 系列全自动光学测厚仪
设备原理
设备基于低相干干涉原理，采用非接触式光学测量，并配备高精度移动平台和视觉校正系统，自动测量产品的厚度及空气间隔。
主要功能
非接触式测量透镜厚度
非接触式测量微小镜头空气间隔
自动上料—自动定位—自动测量—自动下料
UPH，单穴测量时间不大于4秒
测量精度高达±0.1 μm
设备特点
LensThick ATW配备晶圆测试模组，LensThick ATS配备单镜片测试模组；
配备非接触式光学测厚仪，测量精度高，速度快，且不会对样品造成损伤；
采用大理石组合结构，稳定性高
XY平台采用直线电机及高精度光栅尺，重复定位精度±0.001mm,位置精度±0.001mm；
采用CCD图像识别定位，运用高精度算法，准确可靠；
测量时通过CCD图像校正，保证测量位置准确；
主要配置/设备关键部件
非接触式光学测厚仪
测量光程： 12mm/ 40mm/80mm
测量精度： ±0.1 μm/±1μm
测量重复性： ±0.02 μm/±0.05 μm
工作波长： 1310 nm
测量速度： 20 Hz/ 7Hz/ 4Hz
XYR平台参数：
平面度：±0.005mm
直线度：±0.005mm
重复定位精度：±0.001mm
位置精度：±0.001mm
视觉校正相机：
2000万像素
低噪声，高精度
工作环境及设备尺寸参数
工作电压：220V±10**
工作环境：室温-10℃—45℃，湿度≤95**；
环境相对湿度：在+40℃时 ≤90** R.H. （无冷凝）
外型尺寸：800×1200×1960
设备总重量：约500kg
尺寸 | 330mm×430mm×685mm（长×宽×高） |
重量 | 20㎏ |
其他 | |
功率 | 90-264 VAC，47-63 Hz，80 VA |
仪器接口 | USB2.0及以上接口 可支持8通道测量 |
电脑配置 | Windows 7/8/10,1GB内存，USB2.0以上接口，显示器，键盘，鼠标 |
质保期 | 1年 |
⑴ 定义为测量不确定度或很大厚度误差，置信度≥99.7**。
⑵ 整个运行环境条件的不确定性。
⑶ 60分钟测量周期的标准偏差。
⑷ 取决于被测材料在1.3μm波长下的反射率。该规格书是在4**反射条件下给出的。
当反射条件较低时，重复性**坏会降低到约±0.15μm。
⑸ 折射率为1时。
⑹ 折射率为1.5的材料。
⑺ 特性性能，但不是一定的。
1年
否
有
远程和电话指导
无
质保期内免费维修
24小时予以回复
相关产品
