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KASHIYAMA大排量真空泵SDL20E60特点
1.可用于大尺寸的Wafer & FPD
大容量可组合使用。大于150kL/min的容量也可按要求提供。
2.缩短周期时间
大容量约为atm.压力，可实现高速泵送，最适合大型L/L室
用于溶剂抽空的泵也在排队
| 型号 | SDL20E60 |
| 最大排气速度 [L/min] *1 | 40,000 |
| 极限真空度 [Pa] *1 | 0.8 |
| 电源电压 (50/60Hz) | 3Phase AC200～220V,?380～480V |
| 尺寸 [mm] L×W×H | 1370×850×1295 |
| 重量 [kg] | 800 |
售后服务
1年
否
有
无
一年一次
更换零部件
7X24小时
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