电子束光刻胶 AR-PC 5090.02, 5091.02（导电胶）
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特点：
• 用于消除电子束曝光、SEM成像、FIB等工艺中的荷电效应
• 通过旋涂的方式涂胶，操作简单
• 涂胶厚度：40nm @ 4000rpm
• 电子束曝光后可溶于水，非常容易去除，且不损伤衬底材料
• 对紫外光、电子束不敏感，无需黄光室
5090.02，适于PMMA、CSAR 62、 HSQ等；
5091.02，适于酚醛树脂基电子束光刻胶，如AR-N 7520
售后服务
1年
是
有
免费安装培训
质保期内免费仪器保养
质保期内免费非人为损坏免费维修
24小时内到达现场并维修
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