精密片材涂布机由高精度、经认证的工业部件制成
花岗岩底座,提供刚度并隔绝震动
真空吸盘平面度优于5 μm,带有基片进样系统
定制宽度的狭缝涂布头,最大宽度可达650mm
电机驱动、可编程的涂布头高度调节,分辨率为1μm
电机驱动、可编程的涂层偏移调节,分辨率为1 μm
真空吸盘由直线伺服电机和驱动放大器控制
同步材料注射泵-(可选:可同时控制多个注射泵)
高精度的自动化S2S涂布系统
FOM pontumSC是高度自动化的狭缝涂布系统,适用于需要对涂布过程进行高精度控制并实现自动重复进样的高端应用。
深度集成的控制系统
FOM pontumSC配备了一个深度集成的控制系统,可以控制涂布刀头、泵和样品台的运动。XY平台可实现基片和涂布头之间的高精度定位,而涂布头的Z轴定位为涂布工艺提供了超平滑的运动控制。在线式基片给料系统可实现多样品连续涂布。
易于实验重复和配方调用
该系统使用户可以以高度可控,可预测的方式进行高精度功能薄膜的重复涂布,在每个生产周期中保持高良率。
FOM工业级S2S涂布能力
FOM工业级S2S涂布机是一种用于精密狭缝涂布的高端片材涂布机。通过配备了自动基片给料系统、可控固化单元和配方控制软件的全自动狭缝涂布系统来满足工业级生产对涂布精度和重复性的要求。仅需简单的操作即可实现多层结构的自动涂布或多样品量产。FOM pontumSC是为最大面积达1m x 650mm的刚性基板设计的涂布机,该高精度自动化涂布系统可以满足大多数中试规模的大面积印刷电子产品的需求。