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原位薄膜厚度测量仪

报价 ¥30万 - 50万

品牌

昊量

型号

MPROBE 50 INSITU

产地

美洲美国

应用领域

暂无
该产品已下架


MPROBE 50 INSITU – 实时薄膜厚度测量仪


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原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU用于测量薄膜厚度和 n&k(光学常数)的实时光学测量仪。该系统可以在高环境光下工作,因为它使用门控数据采集。原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU使用高强度闪光氙灯在宽带 ( UV-NIR) 波长范围内进行精确测量。MProbe 50 系统是完全可定制的,以支持不同的真空室几何形状。原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU根据可用的光学端口,可以使用斜入射或垂直入射。光可以聚焦在样品表面或准直。反射探头可以放置在沉积室光学端口的外部或内部(使用光纤馈通)。MProbe 50 系统没有活动部件。典型测量时间~10ms。可以快速可靠地测量任何半透明薄膜。

 

原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU优势:

1.原位薄膜厚度和 n&k 测量

2.用于高环境光环境下测量的门控数据采集

3.材料:500+ 扩展材料数据库

4.连续、快速和可靠的测量

5.灵活的配置——完全定制以匹配沉积室的几何形状


 原位薄膜厚度测量仪-MPROBE 50 INSITU选型列表:

MProbe50 

 波长范围

    厚度范围

   VIS

400nm -1100nm

   15nm – 20 μm

 HRVIS

700nm-1000nm

    1μm-400μm

   NIR

900nm-1700nm

  100nm – 200μm

  UVVisF

200nm -900nm

   1nm – 20μm

 UVVISNIR

200nm-1700nm

   1nm -200μm

XT

1590nm -1650nm

   10μm-1mm




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