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TS200-SE Probe System MPI手动晶圆探针台系统

报价 ¥10万 - 30万

品牌

暂无

型号

TS200-SE Probe System

产地

欧洲德国

应用领域

暂无

适用于多种晶圆量测应用,
• 如组件特性描述和建模、射频和毫米波、晶圆可靠性 (WLR) 和失效分析 (FA)
MPI ShielDEnvironment™ 屏蔽环境
• 專為 EMI / RFI / Light-Tight 屏蔽所设计的精密量测环境
• 支援飞安低漏电量量测
• 温度量测范围 -60 °C 至 300 °C

TS200-SE Probe System细节优势

MPI TS200-SE手动探针测试系统具有无与伦比的功能。具有高度可重复性(1μm)的压板提升设计,具有用于安全,接触,分离(300μm)和加载(3mm)的三个离散位置。这些功能可防止意外的探针或晶圆损坏,同时提供直观的控制,准确的触点定位和安全设置。附加的Probe Hover Control™具有悬停高度(50、100或150 μm),可轻松方便地将探头与Chuck对齐。

MPI ShielDEnvironment™是一个高性能的屏蔽系统,可为超低噪声,低电容测量提供出色的EMI和不透光的屏蔽测试环境。

 

 

 

 

 

 

MPI ShielDEnvironment™的一个完全可配置的部分,它允许多达 4个端口的RF或多达8个端口的DC / Kelvin等多种组合测试。

MPI ShielDCap™便于屏蔽,易于多种搭配,在简化日常操作方面发挥了重要作用。

完整的ShielDCap™可以很容易地用EMI屏蔽版本的探针卡支架替换。

 

 

空气轴承

MPI独特的气垫载物台设计,具有简单的单手冰球控制,为快速的XY导航和晶圆装载提供了无与伦比的操作便利性,同时又具有额外精密的25x25mm的XY-Theta千分尺机芯,不影响精确定位能力。

 

 

 

 

 

独特的卡盘Z调整

TS200-SE除空气轴承XY工作台外还包括5mm的Z吸盘调整(μm分辨率),可实现精确的接触/超程控制或探针卡跌落尖端校正。

1毫米刻度指示器为操作员提供了简便的反馈。另外20毫米气动抬升搭配提供了简便的快速升降功能。

 

 

 

 

多种卡盘选项

TS200-SE可提供多种卡盘选件, 以满足不同的预算和应用要求:同轴,三轴或射频、高功率等,RF卡盘独特带有两个由陶瓷材料制成的辅助卡盘,用于精确的射频校准;-60°C至300°C的多种ERS AirCool卡盘。

 

 

 

 

 

 

温度控制集成

晶圆装载门可以在15°C以下的任何温度下锁定,此独特功能使TS200-SE成为市场上安全的手动探针台。

此外,温控系统可以通过集成式的触摸屏来操作,该触摸屏放置在操作员面的便利位置,以实现快速,操作和即时的反馈。

 

 

 

 

ERS独特的AC3冷却技术

MPI旗下探针台系统均采用ERS独特的AC3冷却技术及其空气管理系统,可直接从“已用”空气中清除MPI ShielDEnvironment™,与市场上的其他系统相比,可减少多达30%至50%的干燥空气消耗。

 

 

 

 

 

多种光学选项

MPI光学器件可以选择单筒显微镜MPI SuperZoom™SZ10,高达12倍光学变焦的MegaZoom™MZ12或超过42毫米工作距离的EeyZoom™EZ10 ——其具有人体工程学20倍目镜的10倍光学变焦系统,90mm工作距离和低至2um以下的光学分辨率。

 

 

 

 

独特的升途径

MPI旗下全系列探针台系统均具有模块化设计创造了独特的升途径。所有TS200-SE探测附件,例如热卡盘,显微镜和定位器,都可以升或重新配置,以适应涵盖工具寿命的各种应用需求,从而使拥有成本降低。

具有ShielDEnvironment™的MPI TS200-SE探针系统可提供大的EMI屏蔽,并允许进行低噪声的器件在片测量,从而可广泛用于各种应用,例如器件表征和建模,RF /微波,晶片可靠性,失效分析, 设计验证和大功率。

 

 


售后服务

1年

免费安装培训

质保期内免费仪器保养

质保期内免费非人为损坏免费维修

24小时内到达现场并维修

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