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准双光束
CCD(电荷耦合光接收器)
真空紫外(~190nm)
自动波长
国产
1~200nm
0.1nm~5nm
0.3nm
0.05nm
0.01%T
极紫外光谱仪采用变栅距曲面光栅，在大角度（~87°）掠入射的情况下实现平面像场，可配合软X射线CCD相机、MCP等平面探测器，适用于1nm（1.2keV) ~ 200nm（6eV）光谱测量。
创谱仪器CP-EFlat系列极紫外平场光栅光谱仪采用经过多年验证的经典设计，基于创谱仪器丰富的短波光学、超高真空、精密机械设计制造经验而精工制作；同时还考虑EUV诊断用户的多样化需求而设计了多种便利功能：波长定标、可见激光导引对靶、整体多维姿态调节、光栅切换、滤片装载等。“即装即用”、功能丰富的的通用型EUV光谱仪的推出，显著地节省了等离子体物理、强场激光、高次谐波、极紫外光刻等领域用户在光谱仪调试上所花费的时间。
特性与优势
l 可见激光指引，方便谱仪与光源对准；
l 标配滤片支架，用于滤除可见光；
l 全方位姿态调节（选件），可订制光轴高度；
l 可切换光栅（选件）；
l 超高真空，适配CCD、MCP等探测器；
l 出厂波长定标；
l 可选配前置光学系统，实现最佳的收集效率/分辨率组合；
l 可选单色仪方式输出；
主要技术参数
l 光学设计：掠入射凹面变栅距平场光栅光谱仪
l 入射狭缝：0.05 ~ 0.5mm连续可调
l 零级挡板：标配
l 滤光片支架：标配
l 平场范围：25mm
l 探测器装载：光栅尺电动反馈调节（可选）
l 真空度：10-4Pa（可选UHV）
l 光栅选配表*：
刻划密度 (g/mm) | 120 | 300 | 1200 | 2400 |
零级衍射角(°) | 170 | 170 | 170 | 174.4 |
分辨率 (nm) | ~ 0.3 | ~ 0.12 | ~ 0.028 | ~ 0.01 |
平场范围 (mm) | 25 | 25 | 25 | 20 |
光谱范围 (nm) | 50 ~ 200 | 20 ~ 80 | 5 ~ 20 | 1 ~ 5 |
光谱范围 (eV) | 25 ~ 6 | 65 ~ 15 | 248 ~ 62 | 1240 ~ 248 |
*可支持装载2片光栅，支持真空状态切换；其他规格光栅请垂询
测试示例
潘宁灯光谱测试；上：原始图像；下：标定后的光谱
主要应用
l 高次谐波与阿秒
l 高能与高能量密度物理
l 激光等离子体
l 放电等离子体
l EUV光源表征
l EUV光学器件及探测器标定
1年
是
有
安装调试时培训
质保期内提供免费维护
免费维护非人为损坏
24小时内响应
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