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落地式/传统大型
钨灯丝
进口
30kV 3.0nm，3kV 8.0nm
7 – 1,000,000X
0.2kV至30kV
3nm@30kV
230mm（φ）X100mm（h）
10个
X = 80 mm, Y = 100 mm, Z = 35 mm, T = 0° to 90º, R = 360º
二次电子检测器、高清背散射电子探测器
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ZEISS EVO 10 高性能 C-SEM 钨灯丝扫描电镜 性能特点
1.ZEISS EVO 10 是一款钨灯丝扫描电镜，具有如下几个特征：
a) 简单方便的操作
EVO 10 采用专利的 OptiBeam 设计，各个电源单元独立控制，具有特别的分辨率、分 析、高景深、大视野和鱼眼模式，不需手动调节，只需鼠标点击即可进入该模式，相关参数 已自动设定好，只需微调，这样对于初学者和熟练操作人员都易于获得最佳的图像。而其他 厂商钨灯丝扫描电镜的未有此设计，图像获得的好坏与操作技术水平有很大的关系。 软件中提供了通用的不同样品类型的选择；当选择好样品类型时，EVO 可以自动启动 到固定的条件下（电压 EHT,探针电流，真空度等），同类型的样品，省去了摸参数的繁琐， 优化了工作流程。用户可以保存他们自己的样品拍摄条件。 ZEISS SEM 是业界公认景深最好的产品，EVO 继承了这一技术优势，通过高景深模式， 易于获得较高倍率的断口形貌。 ZEISS 具有特殊的大视野和鱼眼模式，方便需找样品和定位。 电子枪是预对中钨灯丝；电子枪自动偏压，同时灯丝有自动保护控制功能。设备是 3 孔 可变物镜光阑，用户可以自行更换物镜光阑。 配有与罗技科技联合开发的专用控制面板和双轴摇杆系统，操作更便捷。
b) 超大的样品室
1)ZEISS 样品台具有业界中最大的样品室，能够容纳较大的样品，EVO 10 的样品室大小 为 310mm (￠)×220mm (h)；样品台移动为 X=80mm，Y=100mm，Z=35mm，T = 0° to 90o, R = 360o (连续)。
2)马达驱动：ZEISS 所有的样品台都是标配 5 轴马达启动。
3)样品室可放置最大样品尺寸：直径=230mm，高度=100mm（WD=8.5mm）。
c) 分析工作距离更近
对于钨灯丝扫描电镜来说，最佳的分辨率工作距离为 5~9mm。EDS 分析时，在最佳的 出射角度 35°时，EVO 系列具有同类产品中最短的工作距离 8.5mm，在此条件下，可进行实 时同步的高分辨图像观察和 EDS 分析，而不需要移动样品台，改变样品观察面积。而其它 产品的能谱工作距离至少为 10mm，在最佳分辨率工作距离下找到感兴趣区域后，需要调整 工作距离才能进行能谱分析工作；反复调整工作距离需要花费时间寻找目标区域，工作效率 低。
d) 样品室观察系统
配有 ZEISS 原装的 CCD 相机，可以实时监测样品室状态，不会产生信号干扰，操作更 直观和安全。
e) 与 ZEISS 光镜的完美结合
扫描电镜相较于光镜具有诸如分辨率高、三维立体效果好，综合分析能力强等优势，但 是扫描电镜对样品的定位是 一个难点。ZEISS 是所有电镜厂商中唯一同时拥有光镜和电镜的公司，其可通过将光镜和扫描电镜结合起来，利用光镜的定位优势，通过共享样品台和硬 件，能够很方便的找到所要观察的区域。同时也可将金相照片和扫描电镜图片结合起来，对 样品进行综合分析。这一点是所有其他电镜厂商都难以做到的。
f) 较强的束流稳定性和束流范围
ZEISS EVO 10 样品室采用整块材质中间掏空制成，从而在同类产品中具有最好的束流 稳定性，受外界环境的干扰更小，保证高分辨率及获得细节更加丰富的图像。而日系厂商采 用几块材质拼接而成，受外界干扰较大，束流稳定性较差，自然其图像性能也大受影响。 EVO 10 的束流范围为 0.5pA – 5uA，而其他厂商钨灯丝扫描电镜最束流大仅为 2uA。
g) 加速电压
EVO 10 加速电压调节的步进为 10V，而其他厂商钨灯丝扫描电镜为 100V，这样 EVO 10 能够更好的调节加速电压，从而精密调节电子束能量，获得更加清楚、信息量更丰富的 图像。
h) 强大的软件功能
EVO 10 具有的自动功能如下：自动电子枪启动，电子枪自动对中，自动偏压调整，自 动镜筒参数控制，磁滞校正，自动聚焦，聚焦补偿，动态聚焦，旋转补偿，自动消像散，图 像混合，扫描旋转，倾斜补偿，图像降噪处理等。
i) 良好的售后服务
ZEISS 自从 08 年原厂入驻以来，非常重视售后服务，现在在国内总共有 70 余名工程师。
2、配置
2.3 样品室及样品台
3、安装与培训
1. 安装：
1) 场地测试：与用户关于上述项目的设备销售合同签订后 1 个月内，若用户场地已经 确定，蔡司将安排维修工程师到现场（最多 2 次）进行场地测试，包括磁场、震 动、噪声等。测试完毕后出具相关的测试报告，并对测试结果给出意见。若场地不 合格蔡司会建议用户更换场地或进行相关整改，合格后会对安装位置以及电源隔断 等提供意见供用户进行参考。如用户不愿更换或改造场地，蔡司将不承担因此导致 的一切不利后果，包括无法或者延迟安装，安装后使用效果无法达到预期等。（场 地要求参见附件）
2) 安装调试：设备到达用户现场，且现场的水、电、隔断等所有安装条件准备充分 后，用户应及时联系蔡司。在接到用户通知后两周内蔡司会安排相关的专业人员与 用户就安装工作的具体安排进行沟通。若场地以及相关条件合格，整个安装过程大 体持续 1-2 周的时间。现场安装条件未准备充分或准备充分后用户未及时联系蔡司 的，蔡司将不承担因此导致的一切不利后果，包括无法或者延迟安装、安装后使用 效果无法达到预期等。
2. 培训：
1) 初级培训：
安装调试完毕后，蔡司将对用户人员进行现场培训。现场培训时间一般 为 1-2 天，上机操作培训的人员不超过 3 人。根据用户接受能力，可以适当延长 1 天。培训内容包括：
? 设备的原理、结构及功能简单介绍
? 设备的操作，系统硬件、软件的操作运用
? 设备的日常维护和故障排除
? 样品初步分析与图像获取
? 样品实测
2) 应用培训：
用户使用 1 到 2 个月左右，如有需求，蔡司可以安排应用专家到用户现 场进行免费高级培训。培训主要是帮助用户解决实际使用中的问题。此后，根据用 户与蔡司公司共同协商确定相应的培训计划和次数，蔡司公司应用专家针对用户情 况进行定期寻访，帮助用户对产品操作及样品实测进行指导。
3) 高级培训：
时间一般为 2-3 天， 在用户使用设备 3 到 6 个月后，蔡司将指派高级 应用专家就用户在使用扫描电镜过程中发现的问题及产生的疑问，对用户电镜操作 人员进行电镜应用方面的高级培训，主要为用户提供扫描电镜应用过程中遇到的一 些疑难样品进行观察条件的经验传授和新条件的摸索。
4．售后服务
蔡司显微镜部非常重视在国内的长远发展，所有服务工程师都经过系统培训和认证，为 用户提供快速、高效的响应和维修服务。
地区维修团队：在北京、上海和广州设有地区维修站， 覆盖蔡司显微镜全产品; 并且在成 都、苏州、无锡、南京、合肥、武汉、福建、济南、西安等主要城市配有驻地维修工程师 全球技术支持：在上海，、新加坡和德国总部建立三级梯队的技术支持团队，帮助一线工程 师快速解决技术难题 售后服务热线： 任何售后服务问题或需求，可以在工作时间拨打400-6800-720联系我们
亚太配件中心： 在上海设有亚太配件中心，常用配件24小时内发货.
ZEISS 高分辨电子扫描显微镜-EVO 10信息由苏州测微精密仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于ZEISS 高分辨电子扫描显微镜-EVO 10报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。
1年
是
有
初级培训1次，应用培训1次，高级培训1次
质保期内，蔡司免费提供维修保养服务1次
质保期内，蔡司免费提供维修保养服务1次，并提供维修所用的全部零部件和人工
24小时以内电话响应，48小时以内工程师服务响应
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