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国产
4寸
RT-400℃
4-8路
500公斤
1280*800*1720mm
参考样品台尺寸
反应腔体 | 横流模式的单腔反应腔 |
衬底规格 | 4寸单片 三维复杂衬底/粉末与颗粒/多孔及高纵深比材料 RT-400 oC，控制精度±1 oC |
阀门 | Swagelok专用ALD阀门，耐热温度200 oC |
前驱体源 | 液态、固态、气态以及臭氧源，容器标准50 mL挥发式容器和100 mL载气辅助式容 器，其他规格可定制 可配备8路前驱体源 |
等离子体产生方式 等离子体气源 | 电容式CCP H2/O2/NH3/N2 |
载气 | Ar，质量流量控制器 |
管路源瓶加热温度 | 配可拆卸加热套，RT-250 oC，控制精度±1 oC |
真空系统 | 油泵、防腐油泵、干泵可选 |
压力传感器 | 检测范围1000-2.3*10-4 Torr |
真空管路 | 烘烤至200℃，且真空泵前级配置热阱，加热温度300℃ |
控制 | 触摸屏+PLC/选配电脑 |
机柜 | 可移动铝型材框架，不锈钢面板 尺寸：1000*1000*1000mm |
选配 | 臭氧发生器/粉末沉积盘/手套箱耦合/ QCM 尾气处理装置 |
1年
否
无
3人次技术培训
3月1次
免费维修更换零件
2小时内响应，24小时内到达现场进行维修
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